5月12日新闻，据招标平台信息显示，5月10日，上Ｌ艏殴偻8722半导体多项设备中标了局颁布
。

了局显示，北方华创、拓？萍肌⑿驹次ⅰ⑺孤螅ˋSML）等成功中标上Ｌ艏殴偻8722特色工艺出产线项目33台设备
。

其中，北方华创中标10台设备，蕴含合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓？萍贾斜3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；阿斯麦（ASML）中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机
。

以此推算，北方华创、拓？萍肌⑿驹次⑷壹扑阒斜炅空急仍67%，国产设备比沉较大
。

那么，从今年1-4月国内重要晶圆厂对于半导体设备采购的中标情况来看，国产半导体设备的占迸字有多高呢？

国内十大晶圆厂今年1-4月设备采购累计开标401台

由于半导体设备利用的工艺流程和沉要性的分歧，我们重要统计光刻、刻蚀、沉积、洗濯等涉及主题工艺的关键设备中标情况，并将关键半导体设备分辨为造程主题设备（蕴含光刻、刻蚀、沉积、离子注入设备）、良率提升设备（蕴含前路检测设备、后路测试设备、洗濯设备）以及沉要辅助设备（蕴含炉管设备、CMP 抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备），并排除二手翻新设备影响
。

通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹三门峡、岳阳晶合、上Ｌ艏殴偻8722、中车时期、中芯随州、武汉新芯 10 家中国大陆重要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理
。2022 年 4 月国内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺设备，前四个月计算开标 401 台工艺设备
。

2022 年 4 月开标的 108 台设备重要来自上Ｌ艏殴偻8722（78 台）、华虹三门峡（20 台）、福建晋华（5 台）、时期电气（3 台）、华力微电子（1 台）、华力集成（1 台），上Ｌ艏殴偻8722及华虹三门峡扩产贡献重要增量
。

2022 年 1- 4 月开标的 401 台设备重要来自华虹三门峡（268 台）、上Ｌ艏殴偻8722（104 台）、时期电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台），华虹三门峡及上Ｌ艏殴偻8722贡献重要增量
。

1-4月采购设备以炉管、刻蚀、沉积设备为主

晶圆厂设备布局往往以光刻机为主题，萦绕以多台刻蚀、薄膜沉积、洗濯等设备，由于分歧招标批次对应设备采购种类分歧，因而分歧时期工艺设备招标种类也会有所分歧
。

2022 年 4 月开标的 108 台设备中，依照分歧工艺设备开标数量从高到低分列，别离为炉管设备（30 台）、刻蚀设备（29 台）、前路检测设备（10 台）、洗濯设备（10 台）、干法去胶设备（9 台）、沉积设备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影设备（4台）、后路测试设备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光设备（1 台）
。炉管、刻蚀设备贡献 2022 年 4 月重要扩产增量
。

2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中，依照分歧工艺设备开标数量从高到低分列，别离为炉管设备（112台）、刻蚀设备（61 台）、沉积设备（61 台）、前路检测设备（48 台）、后路测试设备（35 台）、离子注入机（18 台）、洗濯设备（17 台）、抛光设备（15 台）、涂胶显影设备（14 台）、干法去胶设备（14 台）、光刻机（6 台）
。总的来看，炉管、刻蚀、沉积设备贡献 2022 年 1-4 月重要扩产增量
。

1-4月设备采购中标国产率24.2%

我们以设备中标台数推算国产率（蕴含占有翻新业务的厂家），由于分歧设备价值量分歧，因而与现实市场规模测算的国产率有肯定差距
。且思考分歧晶圆厂、分歧工艺设备的招标批次分歧，中国大陆厂家中标频次散布不定均匀，造成国产率有肯定颠簸
。

从年度数据来看，2021年设备国产率达 27.4%，较 2020 年 16.8%有显著提升
。2022 年 4 月主流晶圆厂开标的 108 台设备中，源自中国大陆厂家造作的设备共计 67 台，占比达 62%；2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中，源自中国大陆厂家造作的设备共计 97 台，占比达 24.2%
。固然较2021年有所降低，但这可能是由于国内厂商采购节拍有关，预计整年的设备国产率仍将有望超过2021年
。

上Ｌ艏殴偻87221-4 月设备采购中标国产率达42.3%

2022 年 1-4 月开标的 401 台设备重要来自华虹三门峡（268 台）、上Ｌ艏殴偻8722（104 台）、时期电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台）
。国产设备中标数较多的晶圆厂为上Ｌ艏殴偻8722（44 台）、华虹三门峡（40 台）、时期电气（8 台）、福建晋华（5 台）
。其中上Ｌ艏殴偻8722国产率达42.3%%，华虹三门峡开标设备中国表设备占比相对较高，国产率约为 14.9%
。

回首2020及2021年度各晶圆厂设备采购中标国产率，上Ｌ艏殴偻8722的设备采购国产化率也是位居第一，别离达到了75.9%和35.4%
。若是将上Ｌ艏殴偻87222020年、2021年、2022年1-4月及截至目前的5月（67%）的设备采购国产化率占比均匀来看，其设备采购国产化率仍高达55%以上
。

1-4月干法去胶、刻蚀、洗濯、离子注入设备采购中标国产率较高

近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的不休发展，在刻蚀、沉积、洗濯、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体设备中标国产率较高
。

2022年1-4月，依照国产设备中标数量从高到低排序，分歧工艺设备国内厂家中标情况如下：刻蚀设备（31 台）、炉管设备（22 台）、干法去胶设备（10 台）、洗濯设备（7 台）、离子注入机（7 台）、沉积设备（6 台）、后路测试设备（4 台）、前路检测设备（3 台）、涂胶显影设备（3 台）
。

其中国产率较高的环节重要为干法去胶设备（国产率 71%）、刻蚀设备（50.8%）、洗濯设备（41.2%）、离子注入机（38.9%）、抛光设备（26.7%）、涂胶显影设备（21.4%）
。

回首2020及2021年度各类设备采购中标国产率情况，干法去胶（47.4%和45.0%）、CMP抛光（36.4%和41.7%）、洗濯（32.0%和34.7%）、刻蚀（32.5%和24.4%）、炉管设备（22.7%和23.9%）的国产率相对较高
。

北方华创等国产设备厂商受益

按设国产备厂商中标情况来看，2022 年 4 月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测、盛美上海等（临时不分析含有翻新业务的中国大陆厂家）
。

北方华创计算中标 33 台：中标上Ｌ艏殴偻8722 33 台设备，其中炉管设备 21台，刻蚀设备 12 台
。

中微公司计算中标 13 台：中标华虹三门峡 12 台刻蚀设备，中标时期电气1 台刻蚀设备
。

屹唐半导体计算中标 10 台：中标华虹三门峡 8 台设备，其中 7 台干法去胶机，1 台热退火设备，中标上Ｌ艏殴偻8722 2 台灰化机
。

芯源微计算中标 7 台：中标上Ｌ艏殴偻8722 6 台设备，其中刷片机 5 台，涂胶显影机 1 台，中标福建晋华 1 台涂胶显影机
。

上海精测计算中标 1 台：中标福建晋华 1 台电子显微镜
。

盛美上海计算中标 1 台：中标福建晋华 1 台湿法洗濯设备
。

另表，凭据中国国际招标网数据，今年1-3月国产设备厂商中标了局显示：北方华创13台，蕴含薄膜/干法刻蚀/炉管；盛美上海9台，蕴含湿薄膜/湿法/后路封装；拓？萍3台，均为薄膜设备；华海清科3台，均为CMP设备；芯源微2台，均为涂胶显影设备；上海微电子2台，为炉管设备；至纯1台，为湿法洗濯设备；中科信1台，为离子注入设备；吉姆西（二手设备厂商）3台，为CMP及检测/量测设备
。

起源：中国国际招标网、德国钻研所、民生证券 芯智讯